- KASTU工具金相显微镜MT-400AH
详细信息
品牌:KASTU 型号:MT-400AH 加工定制:否 类型:光学 目镜放大倍数:10 物镜放大倍数:5X/10X/20X/50X/100 仪器放大倍数:50X-1000 重量:100000 g 适用范围:半导体、封装 装箱数:1 MT-400AH主要用于半导体产品尺寸检测。苏州卡斯图电子有限公司MT-400AH工具金相显微镜
我们采用高亮的LED照明,通过高精密的光栅尺来对产品进行测量,超大的行程能满足12寸晶圆的测量。
MT系列参数
带Z轴测量
型号
MT-100AH
MT-200AH
MT-300AH
MT-400AH
三目镜筒
三目
图像
正像/反像
观察方法
明场、暗场、偏光、微分干涉观察(可选)
目镜
屈光度可调10X(视场数:22mm)、20X(可选)
物镜
明视场
长工作距离物镜
暗视场
所有Plan BD系列镜头(可选)
调焦系统
*大被测物高度
150mm
200mm
调焦方法
粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈)
照明装置
透射照明
远心照明、无级亮度可调、5W LED光源
反射照明
科勒照明、FA辅助对焦、可调视场光阑、可调孔径光阑、无级亮度可调、LED光源/卤素光源可选
斜照明
LED环型光源/光纤冷光源
载物台
测量范围
100*100mm
150*100mm
200*150mm
300*200mm
金属台尺寸
285*250mm
300*250mm
400*280mm
500*350mm
玻璃尺寸
170*145mm
204*145mm
245*192mm
350*250mm
快速释放装置
标准配置
数字计数器
*小读数
可在1/0.5/0.1μm选择
功能
调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出
测量精度
(3+0.02L)μm L为测量长度
功耗
45W、85~240VAC 50/60HZ
主机
外型尺寸(W*D*H)mm
445*670*710
480*670*710
607*793*720
720*810*720
重量
50KG
55KG
80KG
110KG
-