• KASTU工具金相显微镜MT-400AH

    详细信息

     品牌:KASTU  型号:MT-400AH  加工定制:否  
     类型:光学  目镜放大倍数:10  物镜放大倍数:5X/10X/20X/50X/100  
     仪器放大倍数:50X-1000  重量:100000 g 适用范围:半导体、封装  
     装箱数:1    

    MT-400AH主要用于半导体产品尺寸检测。苏州卡斯图电子有限公司MT-400AH工具金相显微镜

    我们采用高亮的LED照明,通过高精密的光栅尺来对产品进行测量,超大的行程能满足12寸晶圆的测量。

     

    MT系列参数

     

     

     

     

    带Z轴测量

    型号

    MT-100AH

    MT-200AH

    MT-300AH

    MT-400AH

    三目镜筒

     

    三目

    图像

     

    正像/反像

    观察方法

     

    明场、暗场、偏光、微分干涉观察(可选)

    目镜

     

    屈光度可调10X(视场数:22mm)、20X(可选)

    物镜

    明视场

    长工作距离物镜

    暗视场

    所有Plan BD系列镜头(可选)

    调焦系统

    *大被测物高度

    150mm

    200mm

    调焦方法

    粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈)

    照明装置

    透射照明

    远心照明、无级亮度可调、5W LED光源

    反射照明

    科勒照明、FA辅助对焦、可调视场光阑、可调孔径光阑、无级亮度可调、LED光源/卤素光源可选

    斜照明

    LED环型光源/光纤冷光源

    载物台

    测量范围

    100*100mm

    150*100mm

    200*150mm

    300*200mm

    金属台尺寸

    285*250mm

    300*250mm

    400*280mm

    500*350mm

    玻璃尺寸

    170*145mm

    204*145mm

    245*192mm

    350*250mm

    快速释放装置

    标准配置

    数字计数器

    *小读数

    可在1/0.5/0.1μm选择

    功能

    调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出

    测量精度

     

    (3+0.02L)μm L为测量长度

    功耗

     

    45W、85~240VAC 50/60HZ

    主机

    外型尺寸(W*D*H)mm

    445*670*710

    480*670*710

    607*793*720

    720*810*720

    重量

    50KG

    55KG

    80KG

    110KG

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